（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201510172271.X （22）申请日 2015.04.13 （71）申请人 清华大学
地址 100084 北京市海淀区北京100084-82信箱
（10）申请公布号 CN104749325A
（43）申请公布日 2015.07.01
（72）发明人 薛其坤;陈曦;胡小鹏;赵大鹏;郑澄 （74）专利代理机构 深圳市鼎言知识产权代理有限公司
代理人 哈达
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
原位输运性质测量方法
（57）摘要
一种原位输运性质测量方法，包括以下步
骤：一第一真空环境中，在一基底上制备一膜状结构；一第二真空环境中，在该膜状结构远离基底的表面设置一电极，并在所述膜状结构远离基底的表面上进行微刻划处理，刻划出一微刻划区域，所述电极位于该微刻划区域内；以及一第三真空环境中，将一探针阵列接触所述电极，进行输运性质的测量；所述第一真空环境、第二真空环境、第三真空环境为一连续的真空环境，该连
续的真空环境是指所述膜状结构从第一真空环境直接进入第二真空环境，并从第二真空环境直接进入第三真空环境，该膜状结构没有与空气接触。本发明还涉及一种原位输运性质测量装置。
法律状态
法律状态公告日
2015-07-01 2015-07-29 2016-09-21
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
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公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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