区熔单晶炉下轴运动机构[发明专利]

来源：二三四教育网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：区熔单晶炉下轴运动机构专利类型：发明专利

发明人：欧阳鹏根,石刚,傅林坚,曹建伟,陈明杰,涛,邱敏

秀

申请号：CN201210349359.0申请日：20120919公开号：CN102877118A公开日：20130116

摘要：本发明涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种区熔单晶炉的下轴运动机构。该下轴运动机构包括外轴、支撑框、驱动丝杆、丝杆驱动电机、驱动托盘、花键轴、花键轴驱动电机、外轴旋转皮带轮组、外轴轴承、轴承仓组件和轴承仓旋转皮带轮组。本发明采用内、外轴联动的形式，可实现外轴的旋转和升降运动、内轴的升降运动和与外轴同步的旋转运动，能够满足区熔单晶炉籽晶引晶、晶体生长和旋转运动等生长要求，且运动可靠平稳，密封性能好，为区熔炉稳定拉制单晶提供保证。

申请人：浙江晶盛机电股份有限公司

地址：312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号

国籍：CN

代理机构：杭州中成专利事务所有限公司

代理人：周世骏

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文