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微型微熔压力传感器及其制备方法

来源:二三四教育网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(21)申请号 CN201610580051.5 (22)申请日 2016.07.22

(71)申请人 上海域丰传感仪器有限公司

地址 200000 上海市松江区石湖荡镇闵塔路1500弄29号

(10)申请公布号 CN107643133A

(43)申请公布日 2018.01.30

(72)发明人 余德丰

(74)专利代理机构 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 赵朋晓

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

微型微熔压力传感器及其制备方法

(57)摘要

本发明公开了一种微熔压力传感器制备及

其制备方法。所述制备方法包括如下步骤:首先,以17‑4PH不锈钢弹性体为基材,加工出外径13mm的圆形基板;接着,以微熔工艺在所述圆形基板的内部烧结惠斯通电桥;接着,以金丝球焊线机将所述惠斯通电桥的焊点与电路调理芯片绑定在一起;接着,根据零位及温度补偿工艺调整所述电路调理芯片的参数;接着,对圆形基板和电路调整芯片采用软胶灌封;最后,以环氧树脂

系胶结剂进行二次灌封高温固化。本发明生产的产品体积小巧,密封方便、可配合任意外壳安装使用,不受安装空间的局限,实现可模块化供应。

法律状态

法律状态公告日

2018-01-30 2018-01-30 2019-02-22

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

法律状态

公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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